| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07176589(A) |
申请公布日期 |
1995.07.14 |
| 申请号 |
JP19930342572 |
申请日期 |
1993.12.13 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK |
发明人 |
USHIJIMA MITSURU;AKUMOTO MASAMI;HIRAKAWA OSAMU;KIMURA YOSHIO |
| 分类号 |
B65G1/00;B05C11/08;B05C13/00;H01L21/027;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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