| 发明名称 |
MULTILAYER FILM FORMING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07176481(A) |
申请公布日期 |
1995.07.14 |
| 申请号 |
JP19930345279 |
申请日期 |
1993.12.20 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
FUKAZAWA HIROYUKI;TAKAGI KENICHI;NEGISHI TOSHIO |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C28/00;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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