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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07176540(A) 申请公布日期 1995.07.14
申请号 JP19930318867 申请日期 1993.12.20
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUOKA AKIO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8224;H01L21/8228;H01L27/082;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/822 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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