| 发明名称 |
DETECTOR OF OPENING FOR ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07173647(A) |
申请公布日期 |
1995.07.11 |
| 申请号 |
JP19930353043 |
申请日期 |
1993.12.20 |
| 申请人 |
NIPPON FILCON CO LTD |
发明人 |
OSAWA HISAO;TAKAHASHI HIDEO |
| 分类号 |
G01B11/00;C23F1/08;H01L23/50;(IPC1-7):C23F1/08 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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