| 发明名称 |
SYNTHETIC QUARTZ GLASS SUBSTRATE FOR POLYSILICON THIN FILM TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07172854(A) |
申请公布日期 |
1995.07.11 |
| 申请号 |
JP19930314620 |
申请日期 |
1993.12.15 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
OTSUKA HISATOSHI;SUGITA KATSUMI |
| 分类号 |
C01B33/02;C03B8/04;C03B19/14;C03B20/00;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):C03B20/00 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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