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发明名称 Ionenimplantationsvorrichtung.
摘要
申请公布号 DE69019772(D1) 申请公布日期 1995.07.06
申请号 DE19906019772 申请日期 1990.03.21
申请人 NIHON SHINKU GIJUTSU K.K., CHIGASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SAKURADA, YUZO, NAKA-GUN, KANAGAWA-KEN, JP;TSUKAKOSHI, OSAMU, HIRATSUKA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 H01J37/147;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/153 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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