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发明名称 Dünne dielektrische Schicht auf einem Substrat und Verfahren zu deren Herstellung.
摘要
申请公布号 DE3852543(T2) 申请公布日期 1995.07.06
申请号 DE19883852543T 申请日期 1988.09.01
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 EUEN, WOLFGANG, D-7030 BOEBLINGEN, DE;HAGMANN, DIETER, DR., D-7277 WILDBERG 4, DE;WILDAU, HANS-JUERGEN, D-1000 BERLIN 47, DE
分类号 C23C14/06;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/48;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/3105;H01L21/314;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/31 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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