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发明名称 PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07169756(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19940296045 申请日期 1994.11.07
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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