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经营范围
发明名称
SUBSTRATE MATERIAL FOR ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号
JPH07169675(A)
申请公布日期
1995.07.04
申请号
JP19930342794
申请日期
1993.12.16
申请人
NATL RES INST FOR METALS
发明人
NAKATANI ISAO
分类号
G03F7/09;H01L21/027;H05K1/03;H05K3/28;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/09
代理机构
代理人
主权项
地址
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