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发明名称 MANUFACTURE OF WIRING IN CLOSE PROXIMITY
摘要
申请公布号 JPH07169837(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19930316444 申请日期 1993.12.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HAYASHI HIROMI
分类号 H01L23/522;H01L21/768;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/823 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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