GAS FRICTION VACUUM INDICATOR WITH A GAS FRICTION SENSOR THAT ROTATES AROUND A FIXED AXIS OF ROTATION

摘要

Es wird ein Gasreibungsvakuummeter mit einem um eine ortsfeste Rotationsachse (Bezugszeichen 20) rotierenden Gasreibungssensor (2) angegeben. Der Gasreibungssensor ist innerhalb einer evakuierbaren Messkammer magnetisch berührungslos gelagert. Das hierzu erforderliche Magnetfeld ist in Bezug auf die Rotationsachse (20) rotationssymmetrisch und regelbar ausgebildet. Die Messkammer ist mit einem Vakuumraum (4), dessen Vakuum zu messen ist, räumlich verbindbar. Um in beliebiger Lage angeordnete Messkammerachsen zuzulassen, weist die Rotationsachse (20) eine von der Vertikalen (21) abweichende, vorzugsweise horizontale Ausrichtung auf. Zur Messung der Neigung (24) der Rotationsachse (20) gegen die Vertikale (21) ist eine Messeinrichtung (z.B. 22) vorgesehen, deren Ausgangssignal zur Korrektur des angezeigten Druckwertes dient.