发明名称 提高气敏元件选择性稳定性的方法
摘要 本发明公开一种高选择性高稳定性气敏元件。它是用两种气敏基体材料组合在一起构成一个整体气敏元件,其中的一种气敏基体材料作为补偿元件,与待测气体接触,对干扰气体敏感,而对待测气体不太敏感;另一种气敏基体材料对待测气体敏感,而对干扰气体不太敏感,其结合的结果解决了现有气敏元件选择性不好,稳定性差,抗环境(温度和湿度)能力差等问题,并缩短或消除了元件的初期驰豫时间。由各种气敏基体材料的两两不同的组合,还可以得到对各种气体有选择性的检测元件。这种方法适用于所有的半导体气敏元件。
申请公布号 CN1029159C 申请公布日期 1995.06.28
申请号 CN90100522.3 申请日期 1990.01.20
申请人 云南大学 发明人 吴兴惠
分类号 G01N27/12;H01L49/00 主分类号 G01N27/12
代理机构 云南省专利事务所 代理人 张晋
主权项 1、一种气敏元件,由A、B两种气敏基体材料构成,形成一个整体气敏元件;其中材料A对特定的待测气体灵敏度高,而对干扰气体灵敏度低;材料B对特定的待测气体灵敏度低,而对干扰气体灵敏度高,且接近或略大于A对干扰气体的灵敏度;A与B的温度系数相等;由于采用上述结构,使得该气敏元件具有高选择性和高稳定性。
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