| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN '-FESI2 FILM AND DEVICE WITH THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07166323(A) |
申请公布日期 |
1995.06.27 |
| 申请号 |
JP19930313340 |
申请日期 |
1993.12.14 |
| 申请人 |
NIPPONDENSO CO LTD |
发明人 |
YAMAUCHI SHOICHI;HATTORI TADASHI;IWAMI MOTOHIRO |
| 分类号 |
C23C14/06;(IPC1-7):C23C14/06 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
