发明名称 CANON A ELECTRONS A PLASMA IONIQUE
摘要
申请公布号 FR2609840(B1) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 FR19870000502 申请日期 1987.01.19
申请人 RPC INDUSTRIES 发明人 GEORGE WAKALOPULOS
分类号 H05H1/46;H01J3/02;H01J33/00;H01J37/073;H01J37/077;H01S3/038;H01S3/0959;H05H1/48;(IPC1-7):H01J33/02;H01S3/22 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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