| 发明名称 |
PROCEDE POUR RENDRE PLANES DES STRUCTURES EN FORME DE FOSSE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2700396(B1) |
申请公布日期 |
1995.06.23 |
| 申请号 |
FR19940000377 |
申请日期 |
1994.01.14 |
| 申请人 |
BOSCH GMBH ROBERT |
发明人 |
WEBER LOTHAR;LORKOWSKI MONIKA;MAYER KLAUS-MICHAEL |
| 分类号 |
G02B6/13;G02B6/122;G02B6/36;G02B6/38;G02B6/42;(IPC1-7):G02B6/12;G02B6/30;H01L21/312 |
主分类号 |
G02B6/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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