发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07161806(A) 申请公布日期 1995.06.23
申请号 JP19930302567 申请日期 1993.12.02
申请人 NEC CORP 发明人 KAJIYANA KIYONORI
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址