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发明名称
SEMICONDUCTOR TESTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH07159482(A)
申请公布日期
1995.06.23
申请号
JP19930306335
申请日期
1993.12.07
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
FUNAKURA TERUHIKO
分类号
G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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