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发明名称 Schnelles spektroskopisches Ellipsometer
摘要
申请公布号 DE4343490(A1) 申请公布日期 1995.06.22
申请号 DE19934343490 申请日期 1993.12.20
申请人 MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V., 80539 MUENCHEN, DE 发明人 FUKAREK, WOLFGANG, DIPL.-PHYS. DR.RER.NAT., 85417 MARZLING, DE
分类号 G01J3/447;G01N21/21;(IPC1-7):G01J3/447;G01J4/00 主分类号 G01J3/447
代理机构 代理人
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