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<p>Bei einer Vorrichtung zum photothermischen Prüfen einer Oberfläche (1) eines bewegten Prüfkörpers (2) ist ein Prüfbereich (13) mit einem Anregungsstrahl (5) beaufschlagbar. Der Anregungsstrahl (5) durchtritt in einer Ausnehmung (12) eine die in einem Meßbereich (14) erzeugte Wärmestrahlung (16) abbildende Sammellinse (11). Dadurch ist die Sammellinse (11) auf die einem Detektor (20) eingespeiste Wellenlänge der Wärmestrahlung anpaßbar. Ein im Strahlengang des Anregungstrahles (5) vorgesehener Einkoppelspiegel (9) weist für die Wellenlänge des Anregungsstrahles (5) eine im wesentliche vollständige Reflektivität auf und ist durch seine Anordnung in der Nähe des Fokalbereiches des Anregungsstrahles (5) sehr klein, so daß er zusammen mit der Ausnehmung (12) der Sammellinse (11) nur einen geringen Teil der dem Detektor (20) zugeführten Wärmestrahlung (17) abschattet. In einem weiteren Ausführungsbeispiel fällt der Anregungsstrahl (5) durch eine Ausnehmung in einem die Wärmestrahlung ablenkenden Auskoppelspiegel direkt auf die Oberfläche (1), während die Wärmestrahlung über den Auskoppelspiegel mit angepaßter Reflektivität im wesentlichen mit ihrer gesamten Intensität dem Detektor (20) zuführbar ist.</p> |
