| 发明名称 |
APPARATUS FOR GROWING SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07157388(A) |
申请公布日期 |
1995.06.20 |
| 申请号 |
JP19930339995 |
申请日期 |
1993.12.07 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
KIMURA MASAKI |
| 分类号 |
C30B13/16;C30B13/24;H01L21/208;(IPC1-7):C30B13/16 |
主分类号 |
C30B13/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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