发明名称 METHOD OF SLICING SILICON INGOT
摘要
申请公布号 JPH07153724(A) 申请公布日期 1995.06.16
申请号 JP19930298157 申请日期 1993.11.29
申请人 SHARP CORP 发明人 OKUNO TETSUHIRO
分类号 H01L21/304;B28D5/04;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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