发明名称 WIRING PREPARATION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH07153761(A) 申请公布日期 1995.06.16
申请号 JP19940093432 申请日期 1994.05.02
申请人 GENDAI DENSHI SANGYO KK 发明人 U SOUKOU
分类号 H01L21/285;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/324;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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