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发明名称 CONTROL METHOD FOR MAGNETRON REACTIVE ION ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07153598(A) 申请公布日期 1995.06.16
申请号 JP19930299812 申请日期 1993.11.30
申请人 APPLIED MATERIALS JAPAN KK;OKI ELECTRIC IND CO LTD;MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD 发明人 KONDO MASASHI;IIJIMA YUKIO;ORITA TOSHIYUKI;SEKIYAMA ARIO
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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