| 发明名称 |
MANUFACTURE OF ACTIVE AREA AND SEPARATION AREA BY SPLIT ACTIVE PATTERNING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07153828(A) |
申请公布日期 |
1995.06.16 |
| 申请号 |
JP19940179946 |
申请日期 |
1994.08.01 |
| 申请人 |
S G S THOMSON MICROELECTRON INC |
发明人 |
JIA RI |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/762;H01L27/08;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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