| 发明名称 |
ACCUMULATION OF SILICON NITRIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07153707(A) |
申请公布日期 |
1995.06.16 |
| 申请号 |
JP19940175395 |
申请日期 |
1994.07.27 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
EICHI PIITAA DABURIYUU HEI;DEIBUITSUDO DABURIYUU KAARUSON |
| 分类号 |
C23C16/34;C23C16/44;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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