发明名称 Photodiode aus amorphem Silizium und ihr Herstellungsverfahren.
摘要
申请公布号 DE68922543(D1) 申请公布日期 1995.06.14
申请号 DE19896022543 申请日期 1989.08.10
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 TAKASAKI, KANETAKE, OMORIKITA 1-CHOME OTA-KU TOKYO 143, JP
分类号 H01L31/0248;C23C16/24;C23C16/44;C23C16/54;H01L31/09;H01L31/10;H01L31/20;(IPC1-7):H01L31/09;H01L31/101;H01L31/028;C23C16/50 主分类号 H01L31/0248
代理机构 代理人
主权项
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