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发明名称 LOW PRESSURE VAPOR GROWTH METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH07147246(A) 申请公布日期 1995.06.06
申请号 JP19930295149 申请日期 1993.11.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 UEDA KENJI
分类号 H01L21/205;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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