发明名称 THIN-FILM TRANSISTOR ELEMENT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07147407(A) 申请公布日期 1995.06.06
申请号 JP19930293039 申请日期 1993.11.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 INOUE MAYUMI;EZAKI HIROSHI;TSUBOI NOBUYUKI;TAMURA TATSUHIKO;TAKEDA MAMORU
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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