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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0752777(B2) 申请公布日期 1995.06.05
申请号 JP19880324335 申请日期 1988.12.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/322;H01L29/861;(IPC1-7):H01L29/861 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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