发明名称 RESIST APPLYING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07142302(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930155087 申请日期 1993.06.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MATSUOKA KOJI
分类号 G03F7/16;H01L21/02;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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