发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR OPTICAL INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH07142698(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930308772 申请日期 1993.11.15
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 ARAKAWA TOMOSHI;KAMATA YOSHIYUKI;YANAGAWA HISAHARU
分类号 H01L27/15;(IPC1-7):H01L27/15 主分类号 H01L27/15
代理机构 代理人
主权项
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