| 发明名称 |
MEANS AND METHOD FOR ELIMINATING VIBRATION OF SCANNING PROBE MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07140153(A) |
申请公布日期 |
1995.06.02 |
| 申请号 |
JP19930289095 |
申请日期 |
1993.11.18 |
| 申请人 |
OLYMPUS OPTICAL CO LTD |
发明人 |
MIYAMOTO YASUSHI;SAKAI MITSUGI;HAYASHIDA MITSUMORI;SAKAI NOBUAKI |
| 分类号 |
G01N37/00;G01Q30/18;G01Q60/10;G01Q60/24;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01N37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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