PROCEDIMIENTO Y CELDA DE EFUSION PARA LA FORMACION DE CHORROS MOLECULARES.

摘要

SE FORMAN UNA MOLECULAS PRIMARIAS POR SUBLIMACION EN UNA CAMARA DE SUBLIMACION (2) Y DESPUES SE TRANSFIEREN CON UN CAUDAL DE TRANSFERENCIA EN UNA CABEZA DE CRAQUEO (10) A TEMPERATURA SUPERIOR PARA SER TRANSFORMADAS EN MOLECULAS SECUNDARIAS MAS LIGERAS Y FORMAR CHORROS MOLECULARES (16). SEGUN LA INVENCION EL CAUDAL DE TRANSFERENCIA ES REGULADO POR UNA REGULACION POR CAUDAL VECTOR EFECTIVO QUE ES EL DE UN GAS VECTOR INTRODUCIDO EN LA CAMARA DE SUBLIMACION POR UN TUBO DE TRAIDA (26) Y ASPIRADO POR UN TUBO DE ASPIRACION (30). LA INVENCION SE APLICA PARTICULARMENTE A LA REALIZACION DE COMPONENTES SEMICONDUCTORES DEL TIPO III-V POR EPITAXIA POR CHORROS MOLECULARES.