摘要 |
SE DESCRIBE UN DISPOSITIVO PARA RECUBRIMIENTO DE SUBSTRATOS PARA INSTALACION DE PULVERIZACION DE CATODO, CON UN OBJETIVO DE FORMA PLANA DE GRANDES DIMENSIONES, SOBRE EL CUAL EL MATERIAL A DESPRENDER ESTA DISPUESTO EN UNA PISTA, FORMANDO UNA ZONA CERRADA, Y CON UNA DISPOSICION DE IMAN, QUE GENERA UN CAMPO MAGNETICO, CUYAS LINEAS DE CAMPO EN FORMA DE ARCO CUBREN EL OBJETIVO EN FORMA DE PISTA EN DIRECCION TRANSVERSAL. LA INVENCION SE CARACTERIZA PORQUE, AL MENOS SE HA PREVISTO DE UNA SEGUNDA ZONA CERRADA, QUE ESTA CONFIGURADA CON MATERIAL A DESMONTAR SEGUN UNA DISPOSICION EN FORMA DE PISTA, Y A LA QUE RODEA LA PRIMERA ZONA CERRADA, Y QUE LA PISTA DE LA PRIMERA Y LA PISTA DE LA SEGUNDA ZONA CERRADA ESTAN AISLADAS RESPECTIVAMENTE UNA DE OTRA DE FORMA ELECTRICA.
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