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发明名称 Einleitung von Reaktionsgasen bei der Herstellung von integrierten Schaltungen.
摘要
申请公布号 DE69018695(D1) 申请公布日期 1995.05.24
申请号 DE19906018695 申请日期 1990.03.28
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 CARLSON, DAVID K., SANTA CLARA, CALIFORNIA 95051, US;LINDSTROM, PAUL R., APTOS, CALIFORNIA 95003, US
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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