发明名称 SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH07134133(A) 申请公布日期 1995.05.23
申请号 JP19930283310 申请日期 1993.11.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 UEDA KAZUHIRO
分类号 G01B7/34;G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/10;G01Q60/24;G01Q90/00;H01J37/28;H01L21/66;H04R17/00;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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