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发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND ITS FABRICATION
摘要
申请公布号 JPH07135319(A) 申请公布日期 1995.05.23
申请号 JP19930182023 申请日期 1993.06.28
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD;HITACHI LTD 发明人 ADAKA SABURO;ORITSUKI RYOJI;HORII JUICHI;MURAMATSU FUMIO;TAKEDA TOMOHIKO;KAMEDA KENJI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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