发明名称 PROCESS OF MANUFACTURE OF LAYERS OF P TYPE CONDUCTANCE IN SAMPLES CD OOXNG OO1 OO- OOXTE OF P TYPE
摘要
申请公布号 RU2035804(C1) 申请公布日期 1995.05.20
申请号 SU19925039501 申请日期 1992.04.20
申请人 INSTITUT FIZIKI POLUPROVODNIKOV SO RAN 发明人 RYAZANTSEV IVAN A;DVURECHENSKIJ ANATOLIJ V;TALIPOV NIYAZ KH;MISHCHENKO ALEKSEJ M
分类号 H01L21/425;(IPC1-7):H01L21/425 主分类号 H01L21/425
代理机构 代理人
主权项
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