发明名称 Preparation of Semiconductor Materials
摘要
申请公布号 GB1197480(A) 申请公布日期 1970.07.08
申请号 GB19670053091 申请日期 1967.11.22
申请人 RCA CORPORATION, FORMERLY RADIO CORPORATION OF AMERICA 发明人
分类号 C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C30B31/06;H01L21/00 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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