发明名称 |
Preparation of Semiconductor Materials |
摘要 |
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申请公布号 |
GB1197480(A) |
申请公布日期 |
1970.07.08 |
申请号 |
GB19670053091 |
申请日期 |
1967.11.22 |
申请人 |
RCA CORPORATION, FORMERLY RADIO CORPORATION OF AMERICA |
发明人 |
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分类号 |
C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C30B31/06;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C16/40 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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