发明名称 ALIGNMENT CONTROL DEVICE AND USES THEREOF.
摘要
申请公布号 EP0511346(B1) 申请公布日期 1995.05.17
申请号 EP19910919596 申请日期 1991.10.25
申请人 THOMSON-CSF 发明人 VIGOUROUX, JEAN-FRANCOIS;ROUCHON, JEAN-MARC;RICCI, JEAN-LOUIS;WALLY, MARC
分类号 F41G3/32;F41G7/26;G01B11/27;G01J1/06;G01M11/00;(IPC1-7):F41G3/32 主分类号 F41G3/32
代理机构 代理人
主权项
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