| 摘要 |
본 발명은 피처리체를 수용하는 피처리체 수용영역 및 휘발성의 처리액을 수용하는 처리액 수용역역을 가지며, 처리액을 기화시키기 위한 가열수단을 구비한 처리조와, 피처리체 본체 수용영역의 아래쪽에 설치되고, 기화된 상기 처리액을 사용하여 상기 피처리체로부터 제거된 수분을 받은 용기와, 용기에 부착되고, 상기 용기로부터의 수분을 처리조의 외부에 배출하는 액배출관과, 처리조의 피처리체 수용영역의 위쪽에 설치되고, 기화된 처리액을 응축시키는 냉각수단을 구비하고, 액배출관은 개폐밸브를 가지고 있고, 또 상기 개폐밸브보다도 용기에 접근하는 위치에 상기 배기관으로부터 분지된 관을 가지는 기판 건조장치를 제공한다. |
