SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE,申请号JP19930273610-传众专利搜索

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发明名称	SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH07125806(A)	申请公布日期	1995.05.16
申请号	JP19930273610	申请日期	1993.11.01
申请人	HITACHI LTD	发明人	SHIGYO SEIJI
分类号	B65G1/00;H01L21/02;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G1/00	主分类号	B65G1/00
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