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发明名称
AUFBAU EINES ROTIERENDEN POLYGONSPIEGELS.
摘要
申请公布号
AT121852(T)
申请公布日期
1995.05.15
申请号
AT19890123680T
申请日期
1989.12.21
申请人
EBARA CORPORATION
发明人
OSADA, NORIYUKI;HISABE, YASUSHI;OHTANI, TOSHIHIRO;KANAMORI, TOSHIYA
分类号
G02B7/182;G02B26/10;G02B26/12;(IPC1-7):G02B26/10
主分类号
G02B7/182
代理机构
代理人
主权项
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