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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07122628(A) 申请公布日期 1995.05.12
申请号 JP19930287502 申请日期 1993.10.22
申请人 SONY CORP 发明人 TAKIZAWA MASAAKI
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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