| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR PRODUCTION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07122616(A) |
申请公布日期 |
1995.05.12 |
| 申请号 |
JP19930285765 |
申请日期 |
1993.10.21 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
KONDO FUMIO;KAJIYAMA MASAAKI;MATSUMURA MASAO;YOSHIOKA TAKESHI |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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