发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07122567(A) 申请公布日期 1995.05.12
申请号 JP19930285643 申请日期 1993.10.21
申请人 NEC CORP 发明人 SHOJI HIDEYUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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