发明名称 PRODUCTION METHOD AND APPARATUS OF DEGASSED LIQUID AND ULTRASONIC CLEANING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09806(A) 申请公布日期 1997.01.07
申请号 JP19950153460 申请日期 1995.06.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKAHASHI HIDEO
分类号 B08B3/12;B01D19/00;(IPC1-7):B01D19/00 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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