发明名称
摘要
申请公布号 JPH0742569(B2) 申请公布日期 1995.05.10
申请号 JP19860202722 申请日期 1986.08.30
申请人 发明人
分类号 C23C14/06;C23C14/02;C23C14/22;(IPC1-7):C23C14/06 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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