| 发明名称 |
FORMATION OF THIN TITANIUM NITRIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07118831(A) |
申请公布日期 |
1995.05.09 |
| 申请号 |
JP19930268750 |
申请日期 |
1993.10.27 |
| 申请人 |
HITACHI METALS LTD |
发明人 |
HIRAKAWA EIJI;HIRAKI AKITOSHI;MURATA HIDEO |
| 分类号 |
C23C14/06;C04B41/50;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/06 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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