| 发明名称 | 感光性树脂 | ||
| 摘要 | 本发明是关于分子中至少有1个由化学式(1)(式中n是1—10的整数)表示的基团的感光性树脂。本发明的感光性树脂，其分子内具有1个以上在300nm以上具有吸收波长范围的叠氮基，因此是高灵敏度的感光性树脂。这种感光性树脂可用于透过该波长范围的光的工业生产成本低的乳剂被覆制造的光致抗蚀剂或钠钙玻璃制造的光致抗蚀剂。本发明的感光性树脂作为光致抗蚀剂作用非常有效。 | ||
| 申请公布号 | CN1102260A | 申请公布日期 | 1995.05.03 |
| 申请号 | CN94102642.6 | 申请日期 | 1994.03.05 |
| 申请人 | 三洋化成工业株式会社 | 发明人 | 宫崎忠一;水盛正英;本村美树 |
| 分类号 | G03F7/012 | 主分类号 | G03F7/012 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 吴大建;杨丽琴 |
| 主权项 | 1、感光性树脂，其特征是，在其分子中至少具有1个由化学式(1)表示的基团：<img file="941026426_IMG2.GIF" wi="1200" he="169" />式中n是1-10的整数。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||